Descrizione dei prodotti
Gli ugelli ceramici per semiconduttori fungono da componenti critici di precisione nelle apparecchiature per la fabbricazione di wafer semiconduttori (se sono incisori, sistemi di deposizione di vapori chimici e impiantatori di ioni). La loro funzione primaria è quella di guidare, distribuire e controllare con precisione i gas di processo (o gas reattivi) e il plasma, indirizzandoli a interagire con le superfici dei wafer di silicio secondo schemi di flusso e stati energetici specifici. Ciò consente processi che includono la deposizione di film-sottili, l'incisione del modello e la modifica della superficie.
Prestazioni del prodotto
- Eccezionale resistenza all'usura e durata prolungata: i materiali ceramici possiedono una durezza estremamente elevata (ad esempio, la ceramica di allumina 995 supera Hv1500, con la ceramica di zirconio altrettanto eccezionale), resistendo efficacemente all'abrasione a lungo-termine da particelle solide in fanghi come fotoresist e soluzioni di lucidatura.
- Eccezionale resistenza alla corrosione chimica: mostrano un'eccezionale tolleranza ai solventi nei fotoresist, alle soluzioni detergenti acide/alcaline forti, ai gas reattivi e ad altri agenti corrosivi, senza mostrare ruggine o degradazione chimica anche dopo un uso prolungato.
- Stabilità termica e dimensionale superiore: con un coefficiente di espansione termica estremamente basso, la ceramica mantiene dimensioni e forme dei pori costanti a livello di micron- o addirittura nanometri-a livello di fluttuazioni della temperatura di processo.
- Elevata finitura superficiale e bassa contaminazione: i corpi sinterizzati in ceramica possono ottenere finiture a specchio- grazie alla lavorazione ceramica di precisione. Le loro superfici resistono all'adesione delle particelle, non sono-magnetiche e sono facili da pulire.
- Eccellenti proprietà isolanti e funzionali: la ceramica è isolante superiore. L'allumina offre prestazioni di isolamento eccezionali, comunemente utilizzate negli isolanti in allumina e nelle piastre ceramiche isolanti ZrO₂. Le ceramiche in nitruro di allumina presentano anche un'elevata conduttività termica, adatta per applicazioni con requisiti speciali di controllo della temperatura.
Applicazione dei prodotti
- Acquaforte al plasma: funziona come una testa di spruzzatura del gas o un ugello a parete laterale per distribuire uniformemente il gas di acquaforte.
- Apparecchiature per la deposizione di vapori chimici: nei processi PECVD e ALD, introducono uniformemente il gas precursore nella camera di reazione.
- Impiantatore ionico: utilizzato per guidare e formare il fascio ionico.
- Forno a diffusione: funge da ugello per l'iniezione del gas.
Controllo di qualità
Seguiamo rigorosamente il sistema di gestione della qualità ISO 9001 per garantire coerenza:
- Ispezione della materia prima al 100%.
- Linee di produzione avanzate di stampaggio a caldo-
- Test interni-: analisi di densità, durezza e microstruttura
- Certificazioni-di terze parti (SGS, CE, ROHS disponibili su richiesta)
Certificati e riconoscimenti
Possediamo competenze tecniche avanzate nei processi di sinterizzazione, formatura, rettifica, lavorazione CNC, foratura laser, rettifica e lucidatura, tra gli altri. Personalizziamo vari prodotti ceramici in base alle esigenze del cliente.
forza della fabbrica
Utilizziamo metodi e tecniche scientifici durante tutti i processi di progettazione e produzione di prodotti o progetti per ottimizzare e migliorare la loro struttura, prestazioni e flussi di lavoro di produzione in base alle esigenze del cliente. Questo processo è dedicato al progresso tecnologico, al miglioramento della qualità del prodotto e alla riduzione dei costi di produzione.
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