Descrizione dei prodotti

Un anello ceramico semiconduttore è un-componente ceramico speciale ad alte prestazioni utilizzato nelle fasi critiche dei processi di produzione dei semiconduttori. È generalmente realizzato con materiali ceramici di precisione ad alta-purezza e ad alta-densità e presenta una struttura ad anello circolare. Serve come parte di consumo chiave all'interno delle camere di reazione delle apparecchiature a semiconduttore utilizzate per processi quali diffusione, ossidazione, deposizione chimica in fase vapore (CVD) e incisione.

Le sue funzioni principali includono il supporto di wafer di silicio (o la formazione di specifici ambienti di gas di processo e campi di flusso uniformi) resistendo al tempo stesso a condizioni operative estreme-tra cui temperature elevate, gas altamente corrosivi, bombardamento di plasma e cicli termici rapidi. Pertanto, le sue prestazioni influiscono direttamente sulla stabilità del processo, sull'uniformità, sul controllo della contaminazione da particolato e, in definitiva, sulla resa del prodotto finale in chip.

Semiconductor Ceramic Rings

dettagli del prodotto

Nome del prodotto	Anello in ceramica a semiconduttore
Colore	Personalizzato in base alle esigenze del cliente
misurare	Personalizzato in base alle esigenze del cliente
Confezione	Cartone/Pallet/caso di legno (secondo il requisito del cliente)
Tempi di consegna	Prodotto standard-Entro 3 giorni
Progettazione di articoli	Secondo il disegno o i campioni del cliente
Caratteristiche	Buona qualità, prezzo basso, fabbriche multiple, consegna in base a quella più vicina alla tua posizione
Applicazione	Ceramica Industriale
Certificato	ISO, CE

Caratteristiche prestazionali chiave

Materiale ad alta purezza

La selezione di materie prime ceramiche di elevata-purezza riduce efficacemente l'interferenza delle impurità nel processo di produzione dei semiconduttori. Gli anelli ceramici a semiconduttore sono generalmente realizzati con materiali ceramici di elevata-purezza, come ossido di alluminio, nitruro di silicio, ecc. Hanno una durezza estremamente elevata e possono resistere alle sollecitazioni meccaniche durante la lavorazione, garantendo efficacemente il tasso di rendimento e la stabilità delle prestazioni del chip.

Eccellente resistenza alle alte temperature

Nel complesso flusso di processo della produzione di semiconduttori, molte fasi chiave del processo, come la diffusione e la ricottura, devono essere eseguite in ambienti difficili ad alta-temperatura. L'anello ceramico semiconduttore ha dimostrato prestazioni straordinarie in questo senso e può resistere a temperature elevate di centinaia o addirittura migliaia di gradi. Anche in condizioni di temperatura così elevata, l'anello ceramico semiconduttore può ancora mantenere saldamente una buona resistenza meccanica e integrità strutturale. Inoltre, indipendentemente dai rapidi cambiamenti di alta o bassa temperatura, l'anello ceramico semiconduttore non mostrerà condizioni avverse come deformazione, screpolature o rammollimento. Ciò fornisce un supporto-solido e affidabile per il regolare avanzamento dei processi ad alta-temperatura nella produzione di semiconduttori, migliorando notevolmente la qualità e la resa dei chip.

Eccellente stabilità chimica

Gli anelli ceramici a semiconduttore hanno un'eccellente stabilità chimica, un'eccellente resistenza alla corrosione a una varietà di sostanze chimiche e possono rimanere stabili in ambienti di lavorazione difficili, garantendo la purezza e l'affidabilità del processo di produzione dei chip.

Controllo preciso delle dimensioni

Il processo di produzione degli anelli in ceramica semiconduttori può raggiungere una precisione dimensionale estremamente elevata. I parametri degli anelli in ceramica semiconduttori come diametro interno, diametro esterno, spessore e planarità della superficie possono essere controllati con precisione entro tolleranze estremamente piccole. Nelle apparecchiature per la produzione di chip, questo preciso adattamento dimensionale è fondamentale. L'anello ceramico semiconduttore può cooperare perfettamente con altri componenti come wafer, elettrodi, camere di reazione, ecc. per garantire il flusso uniforme di gas e liquidi di processo e la distribuzione uniforme di campi fisici come campi elettrici e campi magnetici, migliorando così l'uniformità e la ripetibilità del processo di produzione di chip e contribuendo a ottenere una produzione di chip su larga-scala, alta-efficienza e alta-qualità.

Buone prestazioni di isolamento elettrico

Gli anelli ceramici semiconduttori hanno eccellenti proprietà di isolamento elettrico e possono resistere ad alte tensioni senza guasti. Questa caratteristica consente agli anelli ceramici semiconduttori di svolgere un ruolo isolante e isolante in posizioni chiave come il sistema di elettrodi e le parti di connessione del circuito delle apparecchiature di produzione di chip, garantendo la sicurezza e la stabilità del sistema elettrico durante il processo di produzione dei semiconduttori ed evitando danni ai chip o incidenti di produzione causati da problemi elettrici.

Applicazione di mercato

Gli anelli ceramici semiconduttori vengono utilizzati principalmente in tre aree principali della produzione di circuiti integrati: diffusione/trattamento termico, deposizione chimica in fase vapore (CVD) e incisione a secco (Etch).

Processi di diffusione/ossidazione/LPCVD

Nei tubi dei forni ad alta-temperatura, gli anelli in ceramica (spesso definiti "pale per barche" o "barche") vengono utilizzati per impilare e supportare orizzontalmente o verticalmente più wafer di silicio. Devono garantire un riscaldamento uniforme e condizioni esenti da contaminazione-per tutti i wafer a temperature fino a 1200 gradi. Gli anelli in ceramica di allumina sono ampiamente utilizzati in tali applicazioni.

Processi di deposizione chimica in fase vapore (CVD).

Nelle camere di reazione CVD, gli anelli ceramici fungono da suscettori o rivestimenti della camera, supportando i wafer e ottimizzando i campi di flusso del gas di reazione. La loro conduzione termica uniforme è fondamentale per ottenere una deposizione uniforme della pellicola. Gli anelli ceramici in nitruro di alluminio sono ampiamente utilizzati in questo campo grazie alla loro eccellente conduttività termica.

Processi di incisione a secco

Questa è una delle applicazioni più impegnative per gli anelli in ceramica. Nelle camere di incisione riempite con plasma ad alta- energia e gas corrosivi, gli anelli ceramici funzionano come anelli di focalizzazione, anelli di confinamento o rivestimenti della camera. I loro ruoli principali sono controllare l'uniformità della distribuzione del plasma, proteggere le pareti metalliche della camera dalla corrosione e ridurre la contaminazione da particolato.Anelli ceramici di ossido di ittrio (Y₂O₃).sono diventati la scelta preferita per i processi di incisione avanzati grazie alla loro resistenza senza precedenti all'erosione del plasma a base di fluoro-.

Altri usi ausiliari

Possono anche servire come componenti isolanti nei sistemi di misurazione o di trasferimento o come anelli limite nella robotica per la gestione dei wafer

Prestazioni dei prodotti

Numero	Prestazione	Unità	Nitruro di alluminio
			Nitruro di alluminio
			JC-AN-210	JC-AN-170
1	Densità	g/cm3	3.32~3.34	3.31~3.33
2	Resistenza alla flessione	MPa	340~360	400~420
3	Resistenza alla frattura	MPa·m1/2	3.35	3.35
4	Costante dielettrica	εr(20 gradi, 1 MHz)	8.8~9.0	8.7~8.9
5	Durezza	GPa	12-16
	Durezza	HRC	75-80
6	Resistività del volume	Ω·cm(20 gradi)	10 10	10 10
7	Modulo elastico	GPa	310	320
8	Coefficiente di dilatazione termica	×10-6/k	4.8~5.0	4.5~4.7
9	Resistenza alla compressione	MPa	2100	2000
10	Abrasioni	g/cm2	0.01	0.01
11	Conduttività termica	W/m×k(20 gradi)	200~220	160~180
12	Rapporto di Poisson	/	0.24	0.24
13	Forza di isolamento	kV/mm	26~28	30~32
14	Temperatura	grado	2500	2500

controllo di qualità

Nel rigoroso rispetto del sistema di gestione della qualità ISO 9001, implementiamo il controllo completo della qualità del processo-per garantire la fornitura coerente di prodotti di alta-qualità:

• Controllo al 100% delle materie prime, garantendo la qualità fin dalla fonte
• Utilizzo di linee di produzione avanzate di stampaggio a caldo-per processi stabili e affidabili
• Un sistema di test interno completo-che copre l'analisi di densità, durezza e microstruttura
• Disponibilità di certificazioni autorevoli di terze parti- (tra cui SGS, CE, ROHS ecc., fornite su richiesta)

Rimaniamo impegnati nel miglioramento continuo del nostro sistema di gestione, fornendo ai clienti una garanzia di prodotto coerente e affidabile.

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perché scegliere noi

Siamo un produttore e fornitore professionale di vari anelli ceramici a semiconduttore. Abbiamo una fabbrica e un team professionali di produzione di anelli in ceramica per semiconduttori. Inoltre, siamo specializzati in anelli ceramici per semiconduttori e abbiamo una società negli Stati Uniti. Ad essere sinceri, forniamo un servizio abbastanza professionale e sincero. Se hai bisogno di anelli in ceramica per semiconduttori di alta-qualità o di altri produttori di ceramica e partner esteri a lungo-termine, non esitare a contattarci. Supportiamo qualsiasi personalizzazione ad alta-difficoltà e faremo del nostro meglio per soddisfare le tue esigenze.

Se hai domande sul mandrino in ceramica, puoi fare clic sul nostroContattacipulsante immediatamente, ci sarà un servizio clienti professionale per rispondere alle tue domande.
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